一、激光器参数：
波长：355nm±1nm；
平均输出功率：≥25W@200kHz；
重复频率：0 – 500kHz；
脉冲宽度：＜15ps；
最大脉冲能量：≥125μJ；
光束质量：M2≤1.3；
冷却方式:水冷；
二、设备参数：
扫描范围：150×150mm；
扫描速度：5000mm/s
X/Y行程：300mm×300 mm
A/C轴行程：A轴行程±110°，C轴行程360°
三、供电：
供电均为AC220V单相交流电
